評価分析技術

各種分析機器を用いて、母材保護に最適な洗浄方法を選定し、洗浄後の仕上がり評価を行います。また、お客様のご要望に応じて、各種部材の汚染状況、劣化状況の解析も行っております。
三重事業所、伊賀事業所に研究拠点を設け、液晶・半導体産業を始めとする高い清浄度を要求される不純物除去技術、仕上げ洗浄、評価分析技術を組合せることにより、お客様要求度を満足した技術開発を行っております。

1. 表面清浄度分析
   洗浄後の金属イオン等の残留やパーティクルの残留を確認します。
2. デポ膜除去分析
   洗浄前後のデポ膜の確認を行います。
3. 部材の健全性確認・仕上がり評価
   洗浄による母材へのダメージが無い事を確認するとともに、検査基準・要求度に適合した表面仕上がりを満たしてるか確認します。
4. 発生ガスの分析
   洗浄後の母材表面に、真空環境下でガスとして発生する成分が残留しているか確認します。また、仕上洗浄後の乾燥条件の選定に用います。

仕上がり評価事例

マイクロスコープを用いて表面の仕上がりを確認します。

付着物成分分析事例

付着物固体の微細形状観察や構成元素を分析。デポの性状を調査し、最適な洗浄方法を決定します。

品質管理機器一例

洗浄後の清浄度や健全性評価の確認を行います。